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國(guó)儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡是全新一代鎢燈絲掃描電子顯微鏡，分辨率優(yōu)于2.5nm。特殊的電子光路設(shè)計(jì)，突破鎢燈絲分辨率極限，在低電壓 1 kV 下，達(dá)到 5 nm 的分辨率。
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